Tibco News, 30 Ògmhios, chuir riaghaltas na h-Òlaind a-mach na riaghailtean as ùire mu smachd às-mhalairt air uidheamachd semiconductor, mhìnich cuid de na meadhanan seo mar smachd photolithography an aghaidh Sìona a-rithist air àrdachadh gu DUV gu lèir.Gu dearbh, tha na riaghailtean smachd às-mhalairt ùr seo ag amas air teicneòlasan saothrachaidh adhartach 45nm agus nas ìsle na chip, a’ toirt a-steach uidheamachd tasgaidh atamach ALD ùr-nodha, uidheamachd fàis epitaxial, uidheamachd tasgaidh plasma agus siostaman lithography bogaidh, a bharrachd air an teicneòlas, bathar-bog a thathar a’ cleachdadh. gus uidheamachd cho adhartach a chleachdadh agus a leasachadh.
Ann an aithris gu Tibco, chuir ASML cuideam air nach eil riaghailtean smachd às-mhalairt ùr riaghaltas na h-Òlaind a’ còmhdach ach cuid de na modalan DUV as ùire, a’ toirt a-steach an TWINSCAN NXT: 2000i agus siostaman lithography bogaidh às deidh sin.Chaidh lithography EUV a chuingealachadh roimhe seo, agus chan eil gluasad shiostaman eile fo smachd riaghaltas na h-Òlaind.A rèir fiosrachadh làrach-lìn oifigeil ASML, siostam lithography bogaidh DUV, a ’toirt a-steach: TWINSCAN NXT: 2050i, NXT: 2050i, NXT: 1980Di trì inneal lithography, faodaidh iad sin giollachd wafer pròiseas 38nm ~ 45nm a dhèanamh.
A bharrachd air an sin, chan eil innealan lithography DUV tioram a tha comasach air giullachd wafer os cionn 45nm, leithid pròiseas 65nm ~ 220nm, leithid TWINSCAN XT: 400L, XT: 1460K, NXT: 870, msaa, air an toirt a-steach don liosta smachd-bhannan Duitseach.
Tha an liosta smachd Duitseach, mar a chaidh eadar-theangachadh le Tibco, mar a leanas:
Tha Riaghailt MinBuza.2023.15246-27 air a chuir a-mach le Ministear na Malairt Cèin agus Co-obrachadh Leasachaidh na h-Òlaind a ’solarachadh airson riatanasan ceadachd airson às-mhalairt uidheamachd cinneasachaidh adhartach airson semiconductors nach deach ainmeachadh roimhe ann an Leas-phàipear I de Riaghailt Àir. 2021/821 (a’ buntainn ri semiconductor adhartach). uidheamachd saothrachaidh)
Artaigil 2: Tha an riaghladh seo a’ toirmeasg às-mhalairt uidheamachd cinneasachaidh semiconductor adhartach às an Òlaind gun chead bhon Mhinistear.
Artaigil 3:
1. Bidh an t-iarrtas airson cead a tha air ainmeachadh ann an Artaigil 2 air a dhèanamh leis an às-mhalairt agus air a chuir chun neach-casaid.
2. Ann an suidheachadh sam bith, bidh:
a） ainm agus seòladh an às-mhalairt;
b） Ainm agus seòladh neach-faighinn agus neach-cleachdaidh deireannach an uidheamachd saothrachaidh adhartach semiconductor;
c） Ainm agus seòladh neach-faighinn agus neach-cleachdaidh deireannach an uidheamachd saothrachaidh adhartach semiconductor.
3, ann an suidheachadh sam bith, tha còir aig an neach-casaid iarraidh air an às-mhalairt an cùmhnant a thoirt seachad air an às-mhalairt, agus aithris air cleachdadh deireannach.
Artaigil 4:
Faodaidh an cead a tha air a mhìneachadh ann an Artaigil 2 a bhith fo chumhachan agus ullachaidhean.
Faodaidh buileachadh a’ cheadachais a tha air a mhìneachadh ann an Artaigil 2 a bhith ann le teisteanasan.
Artaigil V:
Faodar na ceadan a tha air an ainmeachadh ann an Artaigil II a chùl-ghairm anns na cùisean a leanas:
a) Chaidh an cead a thoirt seachad stèidhichte air fiosrachadh ceàrr no neo-choileanta;
b) Cha deach teirmichean, cumhaichean agus cuingeachaidhean a’ cheadachais a leantainn;
c) Airson adhbharan poileasaidh cèin is tèarainteachd nàiseanta.
Ùine puist: Iuchar-02-2023